西南应用物理研究所，第三会议室。
这里的氛围比之前的行业意见征询会更加紧绷。长条桌旁只坐了不到十五个人，除了主持会议的陈主任和几位核心起草专家，便是燧人、昭栄中国，以及另外两家被特意邀请、在碳化硅器件领域有深厚积累的国内研究院所代表。这是一次闭门会议，讨论的内容，将直接影响标准草案的下一版修订方向。
空气中弥漫着速溶咖啡的香气，混合着纸张和一丝不易察觉的紧张。
陈主任开门见山：“今天小范围碰头，目的就一个：针对上次讨论的焦点问题，特别是工艺参数普适性、设备改造成本与可行性，以及标准的前瞻性与产业现实之间的平衡，听听各位最核心的意见。我们争取形成一些基本原则，指导后续修改。畅所欲言，但请紧扣技术。”
他话音刚落，昭栄的赵总监便率先开口，这次他面前的资料更加详实。
“陈主任，各位专家，我们非常赞同标准应具备前瞻性。”赵总监语气诚恳，“但在具体实现路径上，我们认为应当更加开放。以草案中争议最大的退火温度窗口为例，我们联合欧洲合作伙伴，紧急模拟了七种主流半导体材料在该温区下的热应力与缺陷演化。”
他示意助手将报告分发给众人。“模拟结果显示，对于至少三种材料体系，该温区确实存在诱发界面层失效或掺杂剂异常扩散的风险。标准如果强行统一，可能会迫使一些应用领域采用成本极高的定制化工艺或替代材料，得不偿失。”
他出示的数据图表专业，引用的文献权威，具有很强的说服力。一位国内研究所的老专家推了推眼镜，仔细看着报告，微微点头。
“赵总监提供的模拟数据很有参考价值。”张明远接过了话头，他面前摆着燧人准备的“技术路径白皮书”，“不过，模拟基于的是理想材料和标准器件结构。在实际的‘琉璃’这类极端应用场景下，材料经过特殊改性，器件结构也以‘可靠性’为第一优先。我们燧人基于实际的改性碳化硅材料和抗辐照器件工艺，进行了全流程的实验验证。”
他调出数据：“这是我们采用草案温度参数，结合我们自研的梯度退火程序和界面缓冲层技术，制备的样品在等效20年辐照剂量后的电学性能保持率数据，以及微观结构分析。所有核心指标，均达到甚至超过了草案要求。关键点在于，我们是在对现有的一台老式快速退火炉进行有限改造（主要升级了温控系统和气路）后实现的。改造成本清单，在白皮书附录里有详细列支。”
张明远展示的不再是模拟，而是扎扎实实的实验数据、工艺细节和成本核算。他将“高标准”与“通过有限改造实现”这两点有力地结合在了一起。
赵总监面色不变：“张教授的数据令人印象深刻。但这是基于燧人特定的材料体系和技术秘诀。其他厂商是否具备同样的改性技术和工艺know-how？标准不能只服务于少数掌握了‘黑箱技术’的企业，而应为大多数从业者提供可达成的指引。”
这话很刁钻，将燧人的成功案例归为“不可复制的黑箱”，试图将其排除在“普适性”标准参考之外。
“技术秘诀是每个企业的核心竞争力，这没错。”陆晨平静地开口，“但标准制定的目的，不是公开所有企业的‘黑箱’，而是为最终产品的性能划下明确的合格线。燧人的案例证明了一件事：只要明确目标（草案中的性能指标），在现有工业基础上进行聚焦的、有限度的创新，是完全可以达标的。这恰恰给出了明确的路径指引——投入资源，攻克关键工艺节点，而不是固守陈旧参数。”
他顿了顿，目光扫过在场的研究院所代表：“更何况，在座的研究院所，在材料改性和特种工艺方面都有深厚积累。标准的高要求，正是推动产学研合作，共同攻克这些关键节点的最佳催化剂。难道因为现在有些人做不到，我们就该把标准降低到所有人都能不费力气做到的水平？那标准的意义何在？”
陆晨的反问直指核心。标准应该是引领者，而不是迁就者。
另一位国内研究所的代表，一位专注于功率器件封装的女专家，斟酌着说道：“陆总说的有道理。高标准确实能拉动进步。但我们也不能忽视时间窗口和产业链协同。如果关键设备或材料短期内只有极少数能满足，会不会造成产业链的‘瓶颈效应’，反而拖累整体项目的进度？比如，符合新温区均匀性要求的退火设备，产能是否能跟上？”
这个问题很实际，代表了应用方的担忧。
“这正是我们需要在标准中体现灵活性的地方。”陈主任适时总结，“对于‘琉璃’这类有明确、极限需求的国家项目，标准中的核心参数应是刚性的。但在标准正文之外，可以引入‘推荐性工艺路径’或‘达标验证案例集’作为资料性附录，展示不同技术路线如何满足核心指标。既坚持了高标准，又提供了多样化的达标思路参考。”
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