张铭带领的晶圆厂调试团队正在与时间赛跑。洁净室内,气氛紧张得如同手术室。首片工程样片的流片日期已经确定,这不仅是验证设备性能和工艺稳定性的关键一步,更是向所有关注者证明项目可行性的重要节点。
“P3工序的刻蚀均匀性数据出来了,边缘比中心深了0.8纳米。”一名工程师拿着刚打印出来的数据图表,眉头紧锁。
张铭接过图表,目光在密密麻麻的数据点上快速扫过。“还在规格范围内,但必须优化。调整上电极功率分布,再做一组DOE(实验设计)。”他的声音嘶哑却斩钉截铁,“我们第一片样片,不仅要能做出来,更要做得好。0.8纳米的差异,在高压器件上可能就是性能的分水岭。”
调试工作进入了最琐碎也最考验耐心的阶段。每一个工艺模块的参数都需要反复微调、验证、再优化。团队成员分成两班倒,机器24小时不停。陈默每天都会到洁净室外的观察区站一会儿,隔着玻璃看着里面那些忙碌的白色身影,他能感受到那种背水一战的决心和压力。
与此同时,秦风负责的先进封装研发中心也迎来了自己的“大考”。他们为芯辰科技新一代高压电源芯片设计的嵌入式扇出型封装方案,正在接受客户的可靠性测试。高温高湿、温度循环、机械冲击……每一项严苛的测试都关乎着未来大批量订单的归属。
“第三轮温度循环后,第47号样品出现了一次偶发性功能失效。”秦风的助手在晨会上汇报,声音带着沮丧。
秦风没有立刻下结论:“失效模式分析做了吗?是封装问题还是芯片本身的问题?”
“初步分析,可能是TSV互连处的热应力导致微裂纹扩展……”
“把失效样品和所有过程数据给我,重新模拟热应力分布,重点排查封装材料和结构设计。”秦风迅速部署,“同时,和芯辰那边沟通,确认他们芯片级的可靠性数据。我们必须把问题根源找准。”
就在两个技术核心部门全力攻坚时,陈默接到了赵强书记亲自打来的电话,让他立刻到市委一趟。
市委小会议室里,除了赵强,还有市长和分管工业的副市长,气氛严肃。
“陈默,坐。”赵强示意他坐下,直接切入主题,“省里的《若干意见》正式稿快要出来了。我们得到消息,关于‘探索跨区域产业联盟’的条款保留了,而且语气比征求意见稿更加强硬。更关键的是,”赵强顿了顿,“省里可能很快就会成立一个‘集成电路产业发展协调领导小组’,由分管副省长挂帅,统筹全省资源。华芯国际的人,很可能会进入这个领导小组的专家顾问团队。”
市长接过话头,语气沉重:“这意味着,如果省里真要推动整合,我们将面临来自更高层面的直接压力。华芯国际可以借助这个平台,名正言顺地对全省产业布局施加影响。”
陈默的心往下沉了沉,但脸上依然保持镇定:“书记,市长,我们园区最新的技术进展和产业态势……”
赵强抬手打断了他:“你们的工作成效,市委市政府都看在眼里,也是我们争取话语权最大的底气。但现在形势比人强。今天叫你来,是要你做好两手准备。第一,无论如何,晶圆厂的首片样片必须成功,而且要快!这是证明我们能力最硬的‘干货’。第二,”赵强目光锐利地看着陈默,“如果……我是说如果,省里协调小组真的提出整合方案,我们要有预案,底线在哪里?哪些可以让步?哪些必须坚守?你们园区层面要先拿出个初步意见。”
这是一个极其艰难的问题。让步可能意味着自主权的丧失,不让步则可能面临来自省里的巨大压力甚至资源断供。
回到管委会,陈默将自己关在办公室里整整一个下午。他面前铺开一张白纸,上面写下了几个关键词:技术主导权、项目决策权、本地企业服务承诺、团队完整性、品牌独立性。这些都是他认为是园区生命线的东西。然后,他又列出了可能被要求“协同”或“共享”的方面:部分供应链资源、某些公共服务平台、人才培训体系、乃至部分市场信息。
权衡,反复的权衡。哪些是可以谈的筹码,哪些是绝对不能触碰的红线?
傍晚,何卫东敲门进来,带来了关于北部新区的最新情报:“陈组长,我们的人了解到,北部新区和华芯国际的合作协议其实签得很宽松,华芯承诺的投资大部分是分期和附条件的。而且,他们最近在接触的设备供应商,和我们之前遇到困难的是同一批,进展似乎也不顺利。刘主任前几天还私下抱怨过,说‘画的大饼好看,吃起来难’。”
这个消息让陈默心中微微一动。也许,北部新区那边的“合作”热情,并不完全如表面上那么坚实。压力和困难面前,对方的内部也并非铁板一块。
“继续关注。”陈默吩咐道,“另外,我们和北部新区那边的工作层对接,进行得怎么样了?”
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