这一环节，对操作员的手稳度、眼力、技巧和心理素质，是终极考验。
最后是检测与封装区。
检测主要依靠一台带有微分干涉相衬附件的进口光学显微镜，这是观察图形、检查缺陷的“眼睛”。
电学测试方面，计划用高精度千分尺改装成X-Y移动平台，自制一个简易探针台，手动操作钨钢探针测试芯片的电参数。
扫描电子显微镜原型机还在北京电子管厂攻关，因此，关键的微观形貌观察和失效分析暂时是空白，只能依赖光学推断和电学反推。
封装采用陶瓷双列直插封装，封装外壳由红星所工业陶瓷中心试制生产。
最后的封盖工序，在一个小型充氮手套箱内进行，防止内部污染。
“各位，”宋颜神情严肃，“我们有建设模拟线的经验，但中试线的难度，是几何级数的提升。它外表会是各种老旧设备拼凑的杂牌军，但内核必须是一所纪律严明、数据驱动的现代军校。它的成功，不在于做出多少片完美芯片，而在于，用最低的成本、最短的时间，把未来工业化生产中能犯的、不能犯的错误，都尽可能地犯一遍，并且，把每一次错误的教训，都变成铁打的规则和活的人才。”
会议进入攻坚部署阶段。
刘星海教授根据前期梳理和专家判断，明确指出了建设中试线必须跨越的七道天堑，他称之为“七只挡路虎”。
“第一只虎，洁净环境系统。”刘星海教授看向梁先生团队和负责环境控制的专家组，“我们不可能、也不应该追求整个车间达到Class 100。那不现实，也无必要。我们的策略是‘关键区域局部保障 + 严格的气流与污染管控’的务实路径。兰大和成电的团队牵头，联合攻关。”
兰大的岳伴教授站起身：“空气过滤是首关，我们需要稳定可靠的亚高效甚至高效过滤器。已经联系了航天部门，他们能提供少量用于舱内空气净化的石棉纤维滤纸，但量远远不够。”
汤渺教授接口道：“材料中心在尝试另一条路，利用研究多孔陶瓷的技术，烧结制备陶瓷基板高效过滤器。优点是耐高温、可反复清洗再生，缺点是阻力大、脆性高。但如果成功，可以作为关键设备自带送风单元的终极过滤段，或者用于小型超净工作台。”
梁先生团队的年轻工程师补充道：“过滤器的结构设计采用折皱式，用浸渍过酚醛树脂的薄铝箔做折叠隔板，最大限度增大过滤面积，降低风阻。送风机组打算用淘汰的工业鼓风机改造，重点解决噪音和振动问题。”
“气流组织是核心。”成电的郑长枫也有方案，“必须要建立‘洁净岛’概念。在光刻机、涂胶台、键合显微镜上方，设计垂直层流罩。顶部风机下接预过滤、高效过滤箱体，经过穿孔板均流，形成向下‘空气瀑布’。罩体用不锈钢板焊接，关键在密封和防止自身产尘。气流严格单向，送风口在上，回风口在设备侧下方或底部，确保气流将操作员散发微粒带走，而不是吹向硅片。即使整体洁净度不高，也要建立明确的‘压力阶梯’……”
“温湿度控制，”钱兰汇报，“加热用蒸汽盘管，冷却用冷却塔水通过表冷器。控制核心是天津仪表厂试制的气动比例积分调节阀，精度和可靠性待验证。夏季除湿靠表冷器冷凝除湿，加湿准备试用工业超声波加湿器，但要防止水雾携带杂质。关键设备的基础，我们计划制作独立的大质量混凝土惯性块，与建筑结构柔性隔离，所有连接的风管、水管全部改用帆布或橡胶软连接。”
“第二只虎，超纯水。”刘星海教授看向上海医工院的专家，“放弃一步到位的幻想，建立‘多级联产、终端精制、在线监测、分级使用’的系统。由上海医工院牵头，联合南开大学、上海试剂总厂攻关。”
上海医工院的沈工程师语气沉稳：“水源只能是自来水。我们先上活性炭过滤和聚丙烯熔喷滤芯过滤器，去除余氯、有机物和大颗粒。初级净化是化工常见设备，石英砂过滤+无烟煤、石英砂、石榴石分层等多介质过滤+5微米保安过滤器。”
他调出幻灯片示意图：“核心脱盐分两级。第一级，用电渗析。借鉴苦咸水淡化技术，设计小型电渗析堆，作为预脱盐主力，能去除80%-90%离子，大幅减轻后续离子交换负荷。第二级，离子交换。南开大学提供了最高级别的核子级离子交换树脂。我们采用‘混床’设计，阴阳离子树脂均匀混合，达到最好‘抛光’效果。交换柱设计成可拆卸、便于再生，树脂床高细比要大，减少‘沟流’现象。”
“再生是命门。”他加重语气，“再生用的酸、碱和水，必须达到‘电子级’纯度。上海试剂总厂负责提供。否则，再生过程就是一次严重的污染过程。在每个高纯水使用点前，我们再加一级小型‘抛光混床’，甚至直接使用‘核子级抛光树脂柱’，确保最后一关的绝对纯净。”
这章没有结束，请点击下一页继续阅读！