楚千澜看着曲峰发来的信息，眉头微挑。
前几天说好的15天后再来，没想到才过去一周，沈院士就主动来了。
略作沉思，他快速回复曲峰：“你直接安排视察流程吧！让王世杰提前准备设备调试演示，重点展示光刻机的基础校准流程。光刻机是采购来的，没有什么秘密可言，只要不暴露女娲系统就可以。”
虽然不知道沈院士有什么意图，但深蓝半导体现在并没有什么秘密。
即便那些设备都算得上高精端，但对于沈院士来说也就那样。以他的地位，更先进的设备，应该都看到过。
大四学生开学，只是象征性的的开了一个班会。
这一学期，虽然还有几门课程，但都并不重要，若是有实习单位，可以请假不上课，到期末回来考试便可以了。
在班会上，导员反复强调的是实习与毕业论文，这才是大四下学期的重要内容。
班会结束后，时间还早，楚千澜径直驱车前往深蓝半导体。
刚驶入厂区，就看到王世杰带着几名工程师在门口等候，神色间带着几分紧张。
“楚总，沈院士已经到了，正在会议室等着。”王世杰迎上来，递过一份准备好的演示流程，“我们按您的要求，只准备了光刻机基础校准的演示，剩余时间就是现场观看设备。”
楚千澜接过流程扫了一眼，点头道：“不用太紧张，沈院士是来交流学习的，不是来查技术机密的。你让工程师正常安装调试就行，不用刻意回避基础参数。”
走进会议室，沈国梁正带领一群研究所翻看深蓝半导体的厂区规划图，看到楚千澜进来，当即起身笑道：“楚总，冒昧来访，没打扰你们吧？”
“沈院士客气了，您能来指导，我们求之不得。”楚千澜侧身引路，“光刻机刚完成初步安装，正处于校准阶段，附属设施进度还要更慢一些，您要不要现在去看看？”
沈国梁眼中闪过期待：“好啊！早就想亲眼看看193nm深紫外光刻机的实际操作了。”
一行人穿过洁净区走廊，蓝色的防护服将所有人裹得严严实实，只有眼睛露在外面。
光刻区内，几名工程师正围着光刻机调试参数，屏幕上跳动的数据流在昏暗的环境中格外醒目。
而在光刻机的周边，还有很多设备正在定位安装。
沈院士忽然说道，“楚总，你们这台光刻机很新啊，一点也不像二手的。”
楚千澜顺着沈国梁的目光看向光刻机主体，机身外壳的金属光泽均匀，没有明显的使用划痕，连接口处的防尘塞都还保持着完整。
“确实运气好，这台设备是何兰厂商闲置的备用机，05年生产，到现在实际开机时长不到1000小时，保养得比较到位。”
沈国梁俯身观察光刻机的光学镜头保护罩，“如此品质的设备，鹰酱应该禁止对龙国出售运输。能将其买回来，贵公司应该费了不少精力吧！”
楚千澜闻言，深有同感，“这套设备，我们花费3000万欧元，而前前后期的各种准备，我们就耗费了5000万龙国币！好在设备已经到手，不算浪费精力！”
他并没有说明，这价格还包含14台离子注入机。
沈国梁直起身，目光带着一丝感慨：“3000万欧元加5000万龙国币，这价格放在海外确实很高，但能运回国内，但放在国内，也算是物有所值。
在国内，拥有193nm深紫外光刻机，你们的水准已经超过九成同类企业。”
他忽然指向光刻机旁的校准仪器，“这台激光干涉仪是蔡司的最新款吧？用来校准工作台的定位精度，误差能控制在多少？”
王世杰上前一步，语气带着几分自豪：“目前初步校准后，定位误差稳定在±0.02微米，后续经过精细调试，能压缩到±0.015微米以内，完全满足180nm制程的要求。”
沈国梁眼中闪过一丝赞许，伸手在仪器显示屏上轻点：“你们的校准流程很规范，连环境温湿度的补偿参数都考虑到了。
不过要注意，光刻机运行时会产生局部热量，可能影响工作台的稳定性，建议在周边加装恒温风道。”
楚千澜点头记下：“多谢沈院士提醒，我们后续会优化环境控制系统。”
一行人沿着光刻区缓缓前行，沈国梁时不时驻足询问设备参数，从光源功率到曝光时间，从晶圆台转速到光刻胶涂覆厚度，每个问题都极为细致。
走到离子注入机安装区域时，沈国梁看着正在拆解的设备零件，忽然问道：“这些零件是在做故障维修？我刚才好像看到有工程师在记录参数，是准备逆向研究？”
楚千澜坦然回应：“我们有两台离子注入机出现真空阀门故障，我们一边维修一边记录零件参数，后续计划基于这些数据，尝试将零件本土化，甚至逆向研发出设备。”
沈国梁拿起一个拆解下来的密封圈，对着灯光观察材质纹路：“这种氟橡胶密封圈的耐腐蚀性和密封性很关键，国内能生产同级别产品的厂家不多，你们若是有需要，我可以推荐几家研究所对接。”
楚千澜心中一喜：“那太好了！正愁找不到靠谱的国产供应商，有您的推荐，能少走不少弯路。”
沈国梁笑着摆手：“都是为了半导体国产化，互相帮衬是应该的。对了，你们基于星象指令集的芯片研发，什么时候能进入流片阶段？”
提到星象指令集，楚千澜语气多了几分谨慎：“EDA工具的核心模块还在研发，预计今年年中能完成全套工具链开发，同步研发的嵌入式芯片应该会晚一点时间！”
沈国梁眼中闪过期待：“首款180nm纯国产芯片，还真是让人期待啊！”
楚千澜轻笑一声，“我也很想知道，利用星象指令集设计出的芯片，功耗与性能如何。”
沈国梁略作沉吟，“你们可以先设计几款市面已有的通用芯片，我想办法给你拉些客户！”
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